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特種氣體的殺菌

影響滅菌的因素　　

溫度：

　　溫度的常規(guī)極限一般在37℃～63℃，1常用的溫度一般為50±5℃。但是當(dāng)溫度高到足以使藥1物發(fā)揮1大作用時，特種氣體廠家，在升高溫度，則殺菌效果亦不再提高。滅菌溫度的確定同以下條件有關(guān)：1）所滅產(chǎn)品的溫度耐受性。2）裝載量及裝載方式，要求裝載量≤80%，不接觸柜壁，各箱體之間有不小于5cm的間隙。3）包裝材料的厚度、大小，堆積密度。

電子特種氣體的介紹

電子特種氣體和半導(dǎo)體、平板顯示、傳感器等電子元器件制造業(yè)息息相關(guān)，與濕電子化學(xué)品一樣是電子元器件的上游原材料之一。其廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝中，特種氣體生產(chǎn)廠家，與生產(chǎn)設(shè)備配套使用。特別是在超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過450道，其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。

氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法

選用背壓法檢漏時，特種氣體供應(yīng)商，首要將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時或數(shù)天，假如被檢產(chǎn)品外表有漏孔，氦氣便經(jīng)過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將外表的剩余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會經(jīng)過漏孔走漏到真空容器，長春特種氣體，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，然后完成被檢產(chǎn)品總漏率丈量。檢漏儀給出的漏率值為丈量漏率，需求經(jīng)過換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效規(guī)范漏率。

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